برق
ارزیابی جواب نانو حسگرهای اکسید قلع لایه نشانی شده به استفاده از اثربخشی تبخیر حرارتی
ارزیابی جواب نانو حسگرهای اکسید قلع لایه نشانی شده به استفاده از اثربخشی تبخیر حرارتی
نوع فایل:PDFتعداد صفحات :6
سال انتشار : 1394
چکیده
بدلیل اهمیت حسگری گازهای قابل اشتعال بهویژه در زمینههای بهداشتی، پزشکی، صنایع غذایی، صنایع دفاع و کنترل،صنایع نفت، گاز و پتروشیمی و نیز توسعهی حسگرهای جدید بر پایه فناوری نانو، در کار حاضر یک حسگر گاز لایه نازک برپایهی اکسید قلع خالص، با ضخامت 012 نانومتر، که به روش تبخیر حرارتی در خلا روی زیرپایهی شیشه لایهنشانی شده، ساخته و مورد مطالعه قرار گرفت. پس از لایهنشانی، آنیل نمونه در دمای 022 درجه…